TECNOLOGIA DE PONTA

ServoPro DF-745 NanoTrace – Analisador de traços de umidade em gases ultra puro por TDLAS

Equipamentos

Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra pureza, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio. A tecnologia de detecção de Laser de Diodo Ajustável (TDL) oferece um limite inferior de detecção (LDL) de 100 partes por trilhão (p

Laboratório
Processo

Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) líder do segmento

Analises são resistentes a contaminação da célula de amostragem operando até 90% da perda de sinal

Limite de detecção de 10ppb

Range de operação de 0-20ppm

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Equipamentos - ServoPro DF-745 NanoTrace - Analisador de traços de umidade em gases ultra puro por TDLAS
H2O
Gases Medidos
Diodo Laser Sintonizável (TDL)
Tecnologia

Descrição do Produto

Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra pureza, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio. A tecnologia de detecção de Laser de Diodo Ajustável (TDL) oferece um limite inferior de detecção (LDL) de 100 partes por trilhão (p

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Principais características

Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) líder do segmento

Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) líder do segmento

Analises são resistentes a contaminação da célula de amostragem operando até 90% da perda de sinal

Analises são resistentes a contaminação da célula de amostragem operando até 90% da perda de sinal

Limite de detecção de 10ppb

Limite de detecção de 10ppb

Range de operação de 0-20ppm

Range de operação de 0-20ppm

Operação via painel frontal, registro de

Operação via painel frontal, registro de

Ficha técnica

Especificações técnicas

  • Gases Medidos H2O
  • Tecnologia Diodo Laser Sintonizável (TDL)
  • Limite de detecção 1ppt
  • Range 0-20ppm/ 0-2ppb
  • Erro intrínseco FS ±3% da leitura/ ±2ppb (o que for maior)
  • Tempo de resposta T90 ≤3 minutos com vazão de 1 l/min
  • Desvio Zero/mês desprezível
  • Desvio Span/mês desprezível
  • Mínimo range recomendado 0-2ppb
  • Tempo de recuperação <5 minutos para retornar para 100ppb sobre a ultima leitura
  • Saídas analógicas 1x 4-20mA isolada/ 0-1, 0-2, 0-5 ou 0-10Vdc (configuráveis)
  • Range escalonáveis para qualquer range entre 0-100ppb a 0-10ppm
  • Alarmes sonoros e visuais 5 alarmes disponíveis sendo 4 alarmes de nível de concentração, temperatura, diagnóstico do sensor, analisador off-line e auto-range
  • Range escala dupla 2 ranges da saídas analógicas configuráveis para quando o primeiro range de operação estiver saturado
  • Relê até 4 reles configuráveis para alarme e indicação. 1A/30Vdc
  • Comunicação serial Configurado de fabrica para RS-232 ou RS-485
  • GSF Compensação de background para gases diferentes de N2
  • Flow Rate 1 a 4 l/min
  • Vazão de bypass 25 a 2.5l/min
  • Pressão 30 a 150PSIg
  • Ponto de orvalho +5°C abaixo da temperatura ambiente
  • Particulado 2um
  • Condições da amostra Sem óleo, não corrosiva e não condensada
  • Exaustão para atmosfera. Máximo de pressão de saída é de -2PSIg a 2PSIg
  • Temperatura da amostra +10˚C to +80˚C
  • Tempo de aquecimento 5 minutos
  • Umidade relativa 0-95% RH sem condensação
  • Altitude 2000m máximo acima do nível do mar
  • Dimensões 483mm x 266mm x 608mm (LxAxC)
  • Peso 8kg
  • Vácuo ejetor de ¼” (conexão de compressão)
  • Montagem rack 19”/ involucro NEMA1
  • Tensão de alimentação 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz
  • Gás Zero opcional – recomendado somente se operar próximo do limite de detecção
  • Gás Span Não necessário 
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