DF-760 NanoTrace Ultra – Analisador de traços de umidade e oxigênio em gases ultrapuros por TDLAS
Oferecendo uma solução compacta integrada para o monitoramento simultâneo de traços de umidade e traços de oxigênio, o DF-760 ULTRA é um analisador projetado para monitorar produção de gases ultra puros a granel usados na fabricação de placas de circuito integrado. Combinando as propriedades do sensor Coulométrico não consumível da Servomex e da tecnologia robusta Tunable Diode Laser (TDL) em u
Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) e sensor Coulométrico não consumível líderes do segmento
Analises são resistentes a contaminação da célula de medição operando até 90% da perda de sinal
Limite de detecção de 55pptH2O/ 45pptO2
Range de operação de 0-20ppmH2O/0-20ppmO2