TECNOLOGIA DE PONTA

ServoPro DF-750 NanoTrace Ultra – Analisador de traços de umidade em gases ultrapuros por TDLAS

Equipamentos

Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra pureza, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio. A tecnologia de detecção de Laser de Diodo Ajustável (TDL) oferece um limite inferior de detecção (LDL) de 55 partes por trilhão (pp

Laboratório
Processo

Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) líder do segmento

Analises são resistentes a contaminação da célula de medição operando até 90% da perda de sinal

Limite de detecção de 55ppt

Range de operação de 0-20ppm

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Equipamentos - ServoPro DF-750 NanoTrace Ultra - Analisador de traços de umidade em gases ultrapuros por TDLAS
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Descrição do Produto

Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra pureza, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio. A tecnologia de detecção de Laser de Diodo Ajustável (TDL) oferece um limite inferior de detecção (LDL) de 55 partes por trilhão (pp

Desempenho excepcional

A faixa espectral de 680 a 2600 nm e o detector de alta sensibilidade entregam leituras estáveis mesmo em amostras heterogêneas. As calibrações Unity e Ingot já vêm prontas, e o UCal 4 permite ajustar modelos ao seu produto sem depender de terceiros — precisão que se mantém turno após turno.

Versatilidade máxima

Um único equipamento atende laboratório e processo. A mesma assinatura espectral que valida uma amostra na bancada monitora a produção em tempo real, com resultados rastreáveis e comparáveis entre os dois mundos.

Fabricante: KPM Analytics
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Principais características

Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) líder do segmento

Analises são resistentes a contaminação da célula de medição operando até 90% da perda de sinal

Limite de detecção de 55ppt

Range de operação de 0-20ppm

Operação via painel frontal, registro de

Ficha técnica

Especificações técnicas

  • Gases Medidos H2O
  • Tecnologia Diodo Laser Sintonizável (TDL)
  • Limite de detecção 55ppt
  • Range 0-20ppm/ 0-2ppb
  • Erro intrínseco FS ±3% da leitura/ ±2ppb (o que for maior)
  • Tempo de resposta T90 ≤3 minutos com vazão de 1 l/min
  • Desvio Zero/mês desprezível
  • Desvio Span/mês desprezível
  • Mínimo range recomendado 0-2ppb
  • Tempo de recuperação <5 minutos para retornar para 100ppb sobre a ultima leitura
  • Saídas analógicas 1x 4-20mA isolada/ 0-1, 0-2, 0-5 ou 0-10Vdc (configuráveis)
  • Range escalonáveis para qualquer range entre 0-100ppb a 0-10ppm
  • Alarmes sonoros e visuais 5 alarmes disponíveis sendo 4 alarmes de nível de concentração, temperatura, diagnóstico do sensor, analisador off-line e auto-range
  • Range escala dupla 2 ranges da saídas analógicas configuráveis para quando o primeiro range de operação estiver saturado
  • Relê até 4 reles configuráveis para alarme e indicação. 1A/30Vdc
  • Comunicação serial Configurado de fabrica para RS-232 ou RS-485
  • GSF Compensação de background para gases diferentes de N2
  • Flow Rate 1 a 4 l/min
  • Vazão de bypass 25 a 2.5l/min
  • Pressão 30 a 150PSIg
  • Ponto de orvalho +5°C abaixo da temperatura ambiente
  • Particulado 2um
  • Condições da amostra Sem óleo, não corrosiva e não condensada
  • Exaustão para atmosfera. Máximo de pressão de saída é de -2PSIg a 2PSIg
  • Temperatura da amostra +10˚C to +80˚C
  • Tempo de aquecimento 5 minutos
  • Umidade relativa 0-95% RH sem condensação
  • Altitude 2000m máximo acima do nível do mar
  • Dimensões 483mm x 266mm x 608mm (LxAxC)
  • Peso 8kg
  • Vácuo ejetor de ¼” (conexão de compressão)
  • Montagem rack 19”/ involucro NEMA1
  • Tensão de alimentação 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz
  • Gás Zero opcional – recomendado somente se operar próximo do limite de detecção
  • Gás Span Não necessário
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